4-Spitzen-Messung

Die Vierpunktmethode, auch Vierpunktmessung oder Vierspitzenmessung, ist ein Verfahren, um den Flächenwiderstand, also den elektrischen Widerstand einer Oberfläche oder dünnen Schicht, zu ermitteln.

Beschreibung

Anordnung der Messspitzen

Vier Messspitzen werden in einer Reihe auf die Oberfläche gebracht, wobei über die beiden äußeren ein bekannter Strom fließt und mit den beiden inneren der Potentialunterschied, d. h. die elektrische Spannung zwischen diesen Spitzen gemessen wird. Da das Verfahren auf dem Prinzip der Vierleitermessung beruht, ist es weitgehend unabhängig vom Übergangswiderstand zwischen den Messspitzen und der Oberfläche.

Wenn benachbarte Messspitzen jeweils den gleichen Abstand haben, erhält man den Flächenwiderstand RF aus der gemessenen Spannung U und dem Strom I mittels der Formel

R_F = \frac{\pi}{{\rm ln} 2} \frac{U}{I} .

Vierpunktmessungen werden beispielsweise in der Halbleitertechnologie eingesetzt, um den Flächenwiderstand einer auf den Halbleiter aufgebrachten Schicht zu bestimmen, dabei kann jedoch die Schicht durch die Messspitzen beschädigt werden.

Zur Bestimmung des Flächenwiderstands bei beliebiger Anordnung der Messkontakte wurde die Van-der-Pauw-Messmethode entwickelt.

Anwendung

Die Vierpunktmethode ist die Standardmessmethode zur Bestimmung der elektrischen Leitfähigkeit in der Halbleiterindustrie.

Weblinks


Wikimedia Foundation.

Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:

  • 4-Draht-Technik — Leitungswiderstände verfälschen Messung von Widerständen Vierleiterschaltung und Leitungswiderstände …   Deutsch Wikipedia

  • Meßinstrumente [4] — Meßinstrumente , elektrotechnische. Während die in Bd. 6 beschriebenen Gleichstrominstrumente bereits so vollkommen waren, daß sie mit einer für alle technischen und wissenschaftlichen Meßmethoden ausreichenden Genauigkeit hergestellt werden… …   Lexikon der gesamten Technik

  • Vierleitermessung — Die Vierleitermessung wird bei der Messung von elektrischen Widerständen mit einem Vierleiteranschluss eingesetzt, wenn Leitungs und Anschlusswiderstände die Messung verfälschen können. Bei der Vierleiter Messanordnung fließt über zwei der… …   Deutsch Wikipedia

  • Osmotisch — Als Osmose (von griechisch ὠσμός, ōsmós = „Eindringen, Stoß, Schub, Antrieb“) wird in den Naturwissenschaften der gerichtete Fluss von Molekülen durch eine semipermeable (auch: selektiv permeable) Membran bezeichnet. Osmose ist für viele Abläufe… …   Deutsch Wikipedia

  • Osmotischer Druck — Als Osmose (von griechisch ὠσμός, ōsmós = „Eindringen, Stoß, Schub, Antrieb“) wird in den Naturwissenschaften der gerichtete Fluss von Molekülen durch eine semipermeable (auch: selektiv permeable) Membran bezeichnet. Osmose ist für viele Abläufe… …   Deutsch Wikipedia

  • Salzkraft — Als Osmose (von griechisch ὠσμός, ōsmós = „Eindringen, Stoß, Schub, Antrieb“) wird in den Naturwissenschaften der gerichtete Fluss von Molekülen durch eine semipermeable (auch: selektiv permeable) Membran bezeichnet. Osmose ist für viele Abläufe… …   Deutsch Wikipedia

  • Vierdrahtmessung — Leitungswiderstände verfälschen Messung von Widerständen Vierleiterschaltung und Leitungswiderstände …   Deutsch Wikipedia

  • Vierleiterschaltung — Leitungswiderstände verfälschen Messung von Widerständen Vierleiterschaltung und Leitungswiderstände …   Deutsch Wikipedia

  • Vierpolmessung — Leitungswiderstände verfälschen Messung von Widerständen Vierleiterschaltung und Leitungswiderstände …   Deutsch Wikipedia

  • Parsteiner See — Badestelle am Nordostufer Geographische Lage Deutschland, Brandenburg, Biosphärenreservat Schorfheide Chorin …   Deutsch Wikipedia

Share the article and excerpts

Direct link
Do a right-click on the link above
and select “Copy Link”