1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Strukturformel
Strukturformel Hexamethyldisilazan
Allgemeines
Name 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen
  • Hexamethyldisilazan
  • HMDS
  • Bis(trimethylsilyl)amin
Summenformel C6H19NSi2
CAS-Nummer 999-97-3
PubChem 13838
Kurzbeschreibung farblose bis gelb gefärbte, flüchtige, leichtentzündliche Flüssigkeit mit aminartigem Geruch
Eigenschaften
Molare Masse 161,39 g·mol−1
Aggregatzustand

flüssig

Dichte

0,78 g·cm−3 (20 °C)[1]

Schmelzpunkt

−82 °C[1]

Siedepunkt

126 °C[1]

Dampfdruck

20 hPa (20 °C)[1]

Löslichkeit

zersetzt sich in Wasser

Brechungsindex 1,4069-1,4089[2]
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung [1]
Leichtentzündlich Ätzend
Leicht-
entzündlich
Ätzend
(F) (C)
R- und S-Sätze R: 11-20/21/22-34
S: 16-36/37/39-45
WGK 2[1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C6H19NSi2, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen.

In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan unter anderem zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer Hilfsbase verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.

Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.

Einzelnachweise

  1. a b c d e f Eintrag zu 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan in der GESTIS-Stoffdatenbank des BGIA, abgerufen am 02.01.2008 (JavaScript erforderlich)
  2. ChemBlink: Datasheet

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