Nanolithographie

Nanolithographie

Als Nanolithographie bezeichnet man Verfahren zur Erzeugung von Strukturen auf der Nanometerskala. Diese dienen unter anderem zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen.

Weitere Anwendungsgebiete

  • Mikroreaktoren
  • DNA-Chip-Technologie
  • Katalyse

Nanolithografie-Verfahren

Siehe auch

LIGA , Nanotechnologie


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