Institut für Mikrosystemtechnik

Eingang zur 11. Fakultät

Das Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK) an der technischen Fakultät (11. Fakultät) der Universität Freiburg im Breisgau ist eine deutsche Forschungsstätte auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnik. Mit 24 Professuren und über 300 wissenschaftlichen und technischen Mitarbeitern deckt es Fachgebiete von der Mikroelektronik über die Mikrosystemtechnik und Nanotechnik bis hin zur Mikromedizin ab.

Das Institut verfügt dazu über Laboreinrichtungen und einen 600 m² großen Reinraum, der unterteilt werden kann und in den einzelnen Abteilen die Reinraumklassen 4 bis 7 nach DIN EN ISO 14644 anbietet.

Im Institut gibt es folgende Lehrstühle

• Anwendungsentwicklung
• Aufbau- und Verbindungstechnik
• Biomedizinische Mikrotechnik
• Biomikrotechnik
• Bio- und Nano-Photonik
• Chemie und Physik von Grenzflächen
• Elektrische Mess- und Prüfverfahren
• Embedded Microsystems
• Mikroelektronik, Fritz Hüttinger Professur für Mikroelektronik^[1]
• Gassensoren
• Konstruktion von Mikrosystemen
• Materialien der Mikrosystemtechnik
• Micro Energy Harvesting
• Mikroaktoren
• Mikrooptik
• Nanotechnologie
• Optische Systeme
• Optoelektronik
• Prozesstechnologie
• Sensoren
• Simulation
• Systemtheorie
• Verbindungshalbleiter Mikrosysteme
• Werkstoffprozesstechnik

Weblinks

• Webpräsenz des IMTEK

Einzelnachweise

1. ↑ Hüttinger Stiftung

48.0126357.835076

Koordinaten: 48° 0′ 45″ N, 7° 50′ 6″ O