Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Das Fraunhofer IMS
Kategorie:	Forschungseinrichtung
Träger:	Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers:	Eingetragener Verein
Sitz des Trägers:	München
Standort der Einrichtung:	Duisburg
Art der Forschung:	Angewandte Forschung
Fächer:	Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften
Fachgebiete:	Mikroelektronik
Grundfinanzierung:	Bund (90%), Länder (10%)
Leitung:	Anton Grabmaier
Mitarbeiter:	ca. 250
Homepage:	www.ims.fraunhofer.de

Luftbild des Fraunhofer-Instituts, Duisburg

Das Fraunhofer IMS von dem Universitätscampus aus gesehen

Neuer Trakt des Fraunhofer IMS

Das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS), kurz Fraunhofer IMS, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Das Institut hat seinen Sitz in Duisburg, seine Aktivitäten sind der angewandten Forschung und Entwicklung im Fach Mikroelektronik zuzuordnen. Fraunhofer IMS ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem zehn Fraunhofer-Institute angehören.

Geschichte

Das Fraunhofer IMS wurde im Jahr 1984 gegründet. Heute zählt es zu den führenden Instituten für angewandte Forschung und Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik. Bis Ende 2001 hatte Fraunhofer IMS einen Institutsteil in München, der am 1. Januar 2002 an das Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) überging.

Forschung und Entwicklung

Das Fraunhofer IMS deckt in den Bereichen Bauelemente und Technologie, Sensorik und Mikrosystemtechnik, Schaltungsentwurf und System- und Anwendungstechnik, sowie CAD und Test als einziges Mikroelektronikinstitut in Deutschland das skizzierte Potential der Mikroelektronik in der gesamten Breite ab.

Die Arbeitsfelder des Fraunhofer IMS gliedern sich in

• CMOS Bildsensoren und Photodetektoren
  Die Anwendungen decken verschiedene Felder ab, z. B. Multimedia, Automotive, Industrie- und Gebäudeautomatisierung, Robotik, Umweltschutz, Medizin.
• drahtlose ICs/drahtlose Kommunikationssysteme
  Hier sind die Themenschwerpunkte: Nachrichtentechnische und Mikroelektronische Systemkonzepte zur Produktentwicklung, -fertigung und -inbetriebnahme.
• Embedded Systems
  Eingebettete Hard- und Softwaresysteme, z.B. Gateways, Transponder-Basis-Stationen, aber auch für andere Produkte mit eingebetteter technischer Intelligenz.
• Fertigung von Wafern, CMOS-Prozesse und IC-Design
  Basierend auf der CMOS-Technologie werden anwendungsspezifische Prozesse entwickelt. CMOS-Prozeßschritte werden genutzt zur Herstellung von Silizium-Sensoren und Leistungsbauelementen. Sonderprozesse zur Herstellung von MST-Bauelementen (Sensoren) werden in den CMOS-Prozess integriert.
• Hochtemperatur-Chips und EEPROM-Anwendungen
  Ein Hochtemperatur-CMOS-Prozess für bis zu 250°C auf SOI-Substrat ist ebenfalls verfügbar. Die EEPROM-Anwendungen reichen von der Speicherung von Kalibrier- und Identifikationsdaten bis zum größeren Speicher-Array für Meßdatenlogger.
• Intelligentes Wohnen und Inhaus
  siehe InHaus Duisburg.
• Sensorik und Sensorsignalverarbeitung
  Entwicklung von Absolut- und Differenzdrucksensoren unter Einsatz der Silizium-Mikromechanik, einschließlich Drucksensoren für Hochdruck- oder Hochtemperaturanwendungen.
• Transponder und Smart Label
  SmartCards, SmartLabels und Schlüssel für Wegfahrsperren sind bekannte Beispiele der Transpondertechnik.

Das Fraunhofer IMS verfügt über einen 1.600 m² großen Reinraum der Reinraumklasse 10. Hier können jährlich über 80.000 Wafer produziert werden. Im Reinraum arbeiten 120 Personen in drei Schichten an sieben Tagen in der Woche. Für die CMOS-Fertigung koopertiert das IMS eng mit der Firma Elmos.

Infrastruktur

Im Institut sind ca. 250 Personen beschäftigt.

Der Betriebshaushalt des Fraunhofer IMS lag im Geschäftsjahr 2009 bei 18 Millionen Euro (2006: 15 Millionen Euro). Diese kamen zu 15 % aus der Grundfinanzierung, welche zu 90 % aus Bundesmitteln und zu 10 % aus Landesmitteln finanziert wird. Die Drittmittelquote lag in dem Jahr bei rund 85 %, davon kamen rund 60 % aus der Auftragsforschung der Wirtschaft und rund 40 % aus zweckgebundenen Mitteln des Bundes und der Länder (im Wesentlichen Projektförderung, siehe Zuwendung).

Das Fraunhofer IMS wird seit 2006 von Anton Grabmaier geleitet. Seit der Gründung bis zum Jahr 2005 leitete Günter Zimmer das Institut.

Weblinks

• Homepage des Fraunhofer-Instituts für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS)
• Homepage der Fraunhofer-Gesellschaft (FhG)