Laser-Ablation


Laser-Ablation

Als Laserablation wird das Abtragen von Material von einer Oberfläche durch Beschuss mit gepulster Laserstrahlung bezeichnet.

Inhaltsverzeichnis

Physikalische Grundlagen

Die Energie der Photonen wird zuerst auf die Elektronen des Festkörpers übertragen. Bei Femtosekunden-Pulsen können die Elektronen eine hohe Temperatur erreichen; innerhalb sehr kurzer Zeit (wenige Picosekunden) werden mit dieser Energie thermische Schwingungen der Atomkerne angeregt. Bis die Temperatur der Elektronen mit der Temperatur der Atom-Schwingungen übereinstimmt, wird der Zustand mit dem Modell der zwei Temperaturen, engl. two-temperature model, beschrieben. Die Elektronen hoher Energie können zum Aufbrechen chemischer Bindungen führen, bei Nichtmetallen kann es durch so kurze Laserpulse auch zur Coulombexplosion kommen. Das bedeutet, dass die Elektronen den Festkörper verlassen und ein Teil der verbleibenden positiven Ionen durch Coulomb-Abstoßung aus der Oberfläche geschleudert wird.

Bei Laserpulsen im Nanosekundenbereich führt die Energie des Lasers zu einer Aufheizung der Oberfläche (im Sinne von thermischen Bewegungen der Atome) während des Laserpulses. Da die Wärmeleitung nur einen langsamen Energietransport ins Volumen ermöglicht, wird die eingestrahlte Energie auf eine sehr dünne Schicht konzentriert (ca. 1 µm bei 10 ns Pulslänge), daher erreicht die Oberfläche sehr hohe Temperaturen und es kommt zum schlagartigen Verdampfen des Materials. Durch Ionisation (thermisch, durch das Laserlicht oder Elektronenstoß) entsteht bei hoher Leistungsdichte des Lasers ein Plasma aus Elektronen und Ionen des abgetragenen Materials; die Ionen können darin auf Energien bis über 100 eV beschleunigt werden.

Die minimale Leistungs- oder Energiedichte, bei der (bei einer gegebenen Wellenlänge und Pulslänge) Ablation möglich ist, wird Ablationsschwelle genannt. Bei Energiedichten oberhalb dieser Schwelle steigt die Ablationsrate stark an. Bei Nanosekundenpulsen und hohen Leistungsdichten kann das Plasma so dicht werden, dass es einen großen Teil des Laserlichts absorbiert und die Oberfläche so vor weiterem Aufheizen schützt. Die Ablationsrate steigt dann nur mehr näherungsweise linear mit der Energiedichte an.

Um eine ausreichende Absorption des Laserlichts zu gewährleisten, wird vor allem bei Nanosekunden-Pulsen oft Ultraviolett-Strahlung verwendet. Bei diesen Wellenlängen ist die Reflektivität von Metallen geringer als bei sichtbarem Licht; auch die Lichtabsorption von isolierenden Materialien ist im Allgemeinen höher.

Anwendungen

Materialbearbeitung

Laserablation kann zum gezielten Abtragen von Materialien verwendet werden, beispielsweise an Stelle von mechanischem Gravieren harter Materialien oder zum Bohren sehr kleiner Löcher. Laserablation kann auch zum Abtragen von dünnen Schichten verschiedener Verunreinigungen eingesetzt werden; das Verfahren ist relativ schonend, weil nur die oberste (µm dicke) Schicht stark erhitzt wird, das Werkstück als Ganzes bleibt kalt.

Beschichtungsmethode

Das abgetragene Material kann zur Beschichtung einer anderen Oberfläche verwendet werden. Diese Technik wird als Pulsed Laser Deposition (PLD) bezeichnet.

Analytik

Mit Hilfe eines fein fokussierten Laserstrahls können kleinste Probenmengen abgetragen werden. Die abgetragenen Probenteilchen werden mittels eines Gasstroms (He, Ar,...) in einen Detektor (z.B. ICP-MS) gespült und dort hinsichtlich ihrer Element- und/oder Isotopenzusammensetzung charakterisiert. Eine Unterart der Laserablation (LA) ist die sog. Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS), bei der nicht die abgetragenen Probenteilchen direkt, sondern die von ihnen durch die Laseranregung absorbierte und anschließend in Form von Licht emittierte Energie analysiert wird. Durch atomspezifische Emission dieses Lichts kann auch hier Information über die elementare Zusammensetzung der Probe gewonnen werden. Vorteile sind hierbei die relativ hohe Ortsauflösung im µm-Bereich welche bei einem Vollaufschluss der Probe und anschließender Analyse der flüssigen Phase verloren geht.

Medizin

Laserablation wird auch zum Abtragen von Gewebe in der Medizin verwendet. Im Gegensatz zu kontinuierlicher Laserstrahlung kann bei der Verwendung gepulster Laser die thermische Belastung des benachbarten Gewebes gering gehalten werden. Für die minimal-invasive Chirurgie kann der Laserstrahl auch über Lichtleiter in das Innere des Körpers geleitet werden.


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