Ausheizen

Ausheizen bezeichnet das Entfernen unerwünschter und zum Teil auch schädlicher Einflüsse, wie adsorbierte Stoffe an Oberflächen (z. B. Wasser), Verunreinigungen oder Konstellationen (z. B. Kristallgitter-Fehlstellen) aus Materialien oder Apparaten durch kontrolliertes Erhitzen auf eine bestimmte Temperatur über definierte Zeitspannen hinweg.

Damit die entfernten Stoffe die zu reinigenden Materialien nicht sofort wieder verschmutzen, sind teilweise zusätzliche Maßnahmen notwendig. So werden beispielsweise desorbierte Restgase mithilfe von Vakuumpumpen abgesaugt, d. h., die Proben werden unter Vakuum ausgeheizt.

Anwendungen

Anwendung findet das Ausheizen fast überall in der Materialbearbeitung und Beschichtung. Vor allem in der Hochvakuumtechnik, bei Materialabscheidungen in der Halbleitertechnologie, beispielsweise zum Beheben durch Ionenimplantation entstandenen Kristallschäden (sogenanntes „Ausheilen“, englisch annealing). Ähnliches gilt für das Spannungsarmglühen in der Metallbearbeitung.

Weitere Anwendungen sind die kontrollierte Entfernung der Wigner-Energie in graphitmoderierten Kernreaktoren oder die Sterilisation durch Erhitzen in der Medizin.

Um Evakuierzeiten von Elektronenröhren gering zu halten, werden während der Evakuierung die inneren Metallteile in einem Hochfrequenzfeld ähnlich wie in einem Mikrowellenofen gezielt zum Glühen gebracht.

Siehe auch

• Sorptionspumpe
• Rekombination (Physik)