Excimer

Excimer

Die Bezeichnung Excimer, leitet sich her aus der Kurzform von „excited dimer“ (= angeregtes Dimer). Es handelt sich dabei um ein kurzlebiges Teilchen, das aus zwei oder mehreren zusammenhängenden Atomen besteht. Die Besonderheit gegenüber einem Molekül besteht darin, dass das Excimer nur gebildet werden kann, wenn ein Bindungspartner sich in einem angeregten Zustand befindet. Verliert dieses Teilchen Energie, trennen sich die Bindungspartner und kehren in den Grundzustand zurück. Im Grundzustand haben die vormaligen Bindungspartner eine abstoßende Wirkung aufeinander.

Definitionsgemäß bestehen die Atome eines Excimer-Moleküls aus zwei oder mehreren Atomen des gleichen chemischen Elements. Handelt es sich um Atome verschiedener Elemente, spricht man von einem Exciplex. In der Literatur wird diesem Umstand jedoch selten Rechnung getragen und somit werden Exciplexe häufig fälschlich als Excimere bezeichnet.

In der Lasertechnologie werden die Eigenschaften von Excimeren (bzw. heute meist Exciplexen) durch Excimerlaser für konkrete Anwendungsfälle genutzt. Die für die Lasertechnik notwendige Besetzungsinversion ist bereits durch die Molekülbildung gegeben, da hierbei der Grundzustand nicht besetzt sein darf. Die Zerfallszeit beträgt i.A. wenige Nanosekunden (ns). Praktische Bedeutung haben Excimerlaser erlangt, die im ultravioletten Spektralbereich emittieren. Das laseraktive Medium besteht hierbei überwiegend aus Fluor (F2) 157 nm, Argonfluorid (ArF) 193 nm, Kryptonfluorid (KrF) 248 nm, Xenonchlorid (XeCl) 308 nm oder Xenonfluorid (XeF) 351 nm. Sie finden Einsatz in der Medizintechnik und in der Fotolithografie, einem Bereich der Halbleiterherstellung.


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  • Excimer — Ex|ci|mer [Kurzw. aus engl. excited dimer = angeregtes Dimer]; das; s, e, u. Ex|ci|me|re, das; en, en: eine durch Assoziation entstandene ↑ Molekülverbindung (AA)* aus einem angeregten Molekül (A*) u. einem nichtangeregten Molekül (A) derselben… …   Universal-Lexikon

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  • excimer laser — [ek′sə mər] n. a type of gas laser that emits powerful pulses of ultraviolet radiation used in weapons, industrial, or medical research: this radiation is emitted as the short lived excimers, dimeric molecules that can only exist when a component …   English World dictionary

  • Excimer laser — An excimer laser (sometimes, and more correctly, called an exciplex laser) is a form of ultraviolet laser which is commonly used in eye surgery and semiconductor manufacturing. The term excimer is short for excited dimer , while exciplex is short …   Wikipedia

  • Excimer-Laser — Excimerlaser erzeugen elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich. Anwendungsbeispiele sind z. B. die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit und die Fotolithografie (Mikrolithographie), zur Herstellung hochintegrierter… …   Deutsch Wikipedia

  • Excimer laser — A laser that emits very concentrated light in the ultraviolet (UV) region of the spectrum. Excimer lasers are used in medicine. For examples, In ophthalmology to vaporize part of the surface layer of the cornea and thus reshape the cornea to… …   Medical dictionary

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